Teknologi TFT dikembangkan pada 1990-an. Ini mengadopsi bahan baru dan proses baru untuk teknologi manufaktur sirkuit terpadu semikonduktor skala besar. Ini digunakan untuk tampilan panel datar kristal cair (LC), anorganik dan organik film tipis electroluminescence (EL dan OEL). dasar. TFT adalah wafer non-tunggal seperti substrat kaca atau plastik (tentu saja dapat juga pada wafer) melalui proses sputtering dan deposisi kimia untuk membentuk berbagai film yang diperlukan untuk sirkuit manufaktur, dan sirkuit terpadu semikonduktor skala besar (LSIC). ) diproduksi dengan memproses film. . Penggunaan substrat kristal non-tunggal dapat sangat mengurangi biaya, dan merupakan perpanjangan dari sirkuit terpadu skala besar tradisional ke arah area luas, multi-fungsi, dan berbiaya rendah. Secara teknis lebih sulit untuk memproduksi TFT yang mengontrol kinerja switching piksel (LC atau OLED) pada substrat kaca atau plastik area besar daripada memproduksi IC skala besar pada wafer silikon. Persyaratan untuk lingkungan produksi (tingkat pemurnian adalah 100), persyaratan untuk kemurnian bahan baku (kemurnian gas khusus elektronik adalah 99,999985%), dan persyaratan untuk peralatan produksi dan teknologi produksi melebihi integrasi semikonduktor skala besar . Ini adalah puncak produksi skala besar modern. teknologi. Fitur utamanya adalah:
(1) Area luas: Generasi pertama lini produksi TFT-LCD substrat kaca area besar (300mm × 400mm) mulai diproduksi pada awal 1990-an. Pada paruh pertama tahun 2000, area substrat kaca telah diperluas menjadi 680mm×880mm), dan ukuran substrat kaca adalah 950mm×1200mm. Substrat kaca juga akan dioperasikan. Pada prinsipnya tidak ada batasan wilayah.
(2) Integrasi tinggi: Chip TFT 1,3 inci yang digunakan untuk proyeksi kristal cair memiliki resolusi XGA yang berisi jutaan piksel. Ketebalan film silikon amorf susunan TFT 16,1 inci dengan resolusi SXGA (1280 × 1024) hanya 50nm, dan teknologi TAB ON GLASS dan SYSTEM ON GLASS, integrasi IC-nya, persyaratan untuk peralatan dan teknologi pasokan , dan kesulitan teknis Semua melebihi LSI tradisional.
(3) Fungsi yang kuat: TFT pertama kali digunakan sebagai sirkuit lokasi matriks untuk meningkatkan karakteristik katup cahaya kristal cair. Untuk tampilan resolusi tinggi, melalui pengaturan tegangan dalam kisaran 0-6V (biasanya 0,2 hingga 4V), kontrol objek yang presisi dapat dicapai, sehingga LCD dapat mencapai tampilan berkualitas tinggi dan beresolusi tinggi. TFT-LCD adalah layar panel datar pertama dalam sejarah manusia yang melebihi kualitas layar CRT. Dan orang-orang mulai mengintegrasikan IC driver pada substrat kaca, dan fungsi seluruh TFT akan lebih kuat, yang tak tertandingi oleh sirkuit terintegrasi semikonduktor skala besar tradisional.
(4) Biaya rendah: Substrat kaca dan substrat plastik pada dasarnya memecahkan masalah biaya sirkuit terpadu semikonduktor skala besar, dan membuka ruang aplikasi yang luas untuk penerapan sirkuit terpadu semikonduktor skala besar.
